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      售前熱線: 400-623-2690

      關注海洋光學:

      等離子體應用解決方案

      等離子體應用解決方案

      摘要

      等離子體檢測可以為樣品提供詳細的元素分析,并可確定在等離子體產生過程中所需的關鍵參數。發射線可識別等離子體中存在的元素,發射線強度用于實時量化粒子和電子密度。

      氣體混合物、等離子體溫度和顆粒密度等參數對于控制等離子體過程都是至關重要的。通過向腔室引入各種氣體或顆粒來改變這些參數,將在改變等離子體特性的同時,也會影響等離子體與基板的相互作用。監測和控制等離子體可改善工藝和成品。

      等離子體檢測方法

      等離子監測可以通過靈活的模塊配置,Flame系列光譜儀與余弦校正器和抗老化光纖結合使用,在180°視場范圍內從腔室中形成的等離子體獲取定性發射譜數據,從OceanView軟件上可以得到對應的光譜。

      Flame微型光纖光譜儀

      Flame系列微型光纖光譜儀小巧堅固,大幅改進了內部設計,并集成了自動化生產工藝,在熱穩定性與臺間一致性方面領先同級產品。FLAME-S-XR1覆蓋范圍200-1025nm,光學分辨率1.69 nm,積分時間1ms-65s,狹縫25μm,像素2048個,A/D轉換16位。

      QP系列抗紫外老化光纖

      QP系列高級光纖集合是耐用,高質量的配件,在信號發生微小變化時,仍能獲得一致的結果。銹鋼鎧裝加藍色硅膠包裹的外包材料使光纖在使用過程中有較好的化學與機械耐受力。光纖末段是易于操作的金屬接口----高精密度的SMA連接器,提供更好的耦合效率。另外,抗紫外光纖內部采用高羥基材質,可以保證紫外波段的信號不會對光纖本身造成不可逆的破壞,從而導致透光率降低。QP400-SR系列光纖采用400微米纖芯,光纖長度2米,覆蓋波段200-1100nm,外包材料為不銹鋼鎧裝加藍色硅膠包裹,彎曲半徑16cm。

      CC-3余弦校正器

      余弦校正器可與光纖和光譜儀連接,用于相對光譜強度和絕對光譜強度測量、發射光譜測量,以及對LED光源和激光光源進行分析。CC-3-UV-S余弦校正器的散射材料是Spectralon (200-2500 nm) ,它位于不銹鋼套管的末端,視場角為180°,。

      LIBS-COLL準直鏡

      LIBS-COLL準直鏡與光纖相連,可以擴大光纖的視場角從而接收更多的光信號。準直鏡材質為熔融石英,接口型號為SMA905接口,視場角180°,覆蓋范圍185-2500nm。

      OceanView光譜分析軟件

      OceanView是海洋光學的旗艦級光譜應用軟件,支持Windows,Mac OS和Linux系統,兼容海洋光學現有所有光譜儀。內置大量應用向導,能引導客戶完成復雜的光譜應用測試(吸光度、透過率、反射率、熒光、拉曼、輻射測量等)。只需選擇所需測量應用,軟件會一步步引導,讓您輕松地完成系統設置和數據采集。

      解決方案參數

      配置清單

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      光纖光譜儀 {首页主词标题}